1979年10月，國務院批准余秋里的建議，將第一機械工業部儀器儀表工業總局整建制劃出，改稱國家儀器儀表工業總局，為國務院直屬機構，由第一機械部代管，一機部副部長曹維廉任局長。行政編制200人。哈爾濱科學技術大學歸口由國家儀器儀表工業總局和中國科學院雙重領導。
1982年5月4日，第五屆全國人大常委會第二十三次會議通過．將一機部、農機部、國家儀器儀表工業總局和國家機械設備成套總局，合併設立機械工業部。
