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电感耦合等离子体

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图 1. 一个电感耦合等离子体火炬
“电感耦合等离子体”的各地常用名称
中国大陆电感耦合等离子体
台湾感应耦合电浆[a]
交感耦合电浆[7]

电感耦合等离子体（英语：Inductively Coupled Plasma，缩写：ICP）是一种通过随时间变化的磁场电磁感应产生电流作为能量来源的等离子体源。[8]

分类

如图2，总共有三种不同的ICP供能装置。 [9][10]

图 2. 三种ICP发生装置

应用

ICP源的用途著有要四种：

  1. 用于等离子体光谱诊断：通过分析ICP源的光谱来分析等离子体原子组分，参见电感耦合等离子体原子发射光谱（ICP-AES）；
  2. 电感耦合等离子质谱分析技术：作为质谱分析的离子源，分析组分（ICP-MS）；
  3. 用于反应离子刻蚀：通过ICP源产生低温等离子体，刻蚀材料表面，改变材料的物理与化学性质(ICP-RIE)；
  4. 气相沉积薄膜技术（rf-ICP）。


参考文献

脚注
  1. ^ 电感耦合等离子体质谱分析仪（Inductively coupled plasma mass spectrometry），物理化学仪器设备名词[1][2][3][4]；感应偶合等离子光谱[5]；电感耦合等离子体原子发射光谱法[6]
引用
  1. ^ inductively coupled plasma mass spectrometer （ICP-MS） （页面存档备份，存于互联网档案馆），国家教育研究院
  2. ^ 陈炳宏. 業者投機取巧？消基會：檢驗應用網魚法. 台北: 自由时报. 2014-09-12. （原始内容存档于2014-09-13） （中文）. ，互联网档案馆
  3. ^ 叶卉轩. 消基會：餿水油不是那樣測. 联合晚报 (台北: 联合报). 2014-09-12. （原始内容存档于2014-09-13） （中文）. ，互联网档案馆
  4. ^ 许俊伟. 消基會提忠告：網魚式驗油 揪黑心商. 台北: 联合报. 2014-09-13. （原始内容存档于2014-09-13） （中文）. ，互联网档案馆
  5. ^ Inductively Coupled Plasma Spectroscopy （页面存档备份，存于互联网档案馆），国家教育研究院，环境科学名词
  6. ^ inductively coupled plasma atomic emission spectrometry, ICP-AES[永久失效链接]，国家教育研究院，化学名词
  7. ^ inductively coupled plasma（ICP） 互联网档案馆的存档，存档日期2015-11-17.，国家教育研究院，物理学名词
  8. ^ A. Montaser and D. W. Golightly, eds. Inductively Coupled Plasmas in Analytical Atomic Spectrometry. VCH Publishers, Inc., New York,. 1992. 
  9. ^ Pascal Chambert and Nicholas Braithwaite. Physics of Radio-Frequency Plasmas. Cambridge University Press, Cambridge: 219–259. 2011. ISBN 978-0521-76300-4. 
  10. ^ Shun'ko, Evgeny V.; Stevenson, David E.; Belkin, Veniamin S. Inductively Coupling Plasma Reactor With Plasma Electron Energy Controllable in the Range From ~6 to ~100 eV. IEEE Transactions on Plasma Science. 2014, 42 (3): 774–785. ISSN 0093-3813. doi:10.1109/TPS.2014.2299954. 
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