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光罩盒
(
Mask Package
),意為儲存
光罩
的盒子,主要用於避免光罩遭受外部微塵粒子及
化學污染
[
1
]
。
分類
光罩運輸盒:由光罩製作廠運輸至晶圓廠間運輸用;
光罩廠區內部運輸盒;
光罩機台傳送盒:將光罩送入機台的盒子,針對特定的設備使用不同的傳送盒。其中包括非SMIF系統和SMIF系統。
參照
光罩
參考文獻
^
光罩載具
.
[
2010-03-19
]
. (原始內容
存檔
於2018-12-10).
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:
半導體器件製造
盒
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